2.数字测试子系统
　 随机图形发生器:
　　　　图形速率 　　　最大20MHZ
　　　　图形容量 　　　128K字×4位/每管脚
　 算法图形发生器:
　 　　算法图形速率 　 最大10MHZ
　　　 地址 　　　　　 AX:12位,AY:12位
　　　 数据　　　　　　8位
　 速率发生器:
　　　 主时钟频率 　　 100MHZ
　　　 主钟稳定度 　　 ≤±5×10-6
　　　 速率范围　　　 50nS～0.5mS
　　　 速率分辨率　　 10nS
　 时钟发生器:
　　　定时边沿范围　　 0nS～周期值-20nS
　　   定时边沿分辨率 　1nS
　　　定时边沿数 　　　24个
　　　定时边沿分配 　　图形格式定时 7个
　　　I/O 格式定时 　　2个
　　　选通定时 　　　　1个
　　　存储器测试定时 　10个
　　　系统内部定时 　　4个

　　管脚格式器: 　
　　　数据格式 　　　　8
　　　I/O 格式 　　　　3
　　　选通方式 　　　　1

3.数字测试台
　　管脚驱动器:
　　　驱动器形式 　　　　　高压/高速三态管脚电子驱动器
　　　电压基准数量 　　　　2对 （VIH1和VIL1为所有管脚公用，VIH2和VIL2为指定管脚公用）
　　　输出电平范围　　　　 －2V～＋18V，三量程
　　　电压基准程序分辨率 　0.5mV、2mV、8mV
　　　电压基准精度 　　　　±( 0.1%设定值＋20mV )
　　　最小脉宽 　　　　　　＜15nS ( 3V时,50%点处 )
　　　上升/ 下降时间 　　　≤2.5nS/V ( ≤2V摆幅,20%～80% )
　　　　　　　　　　　　　 ≤2nS/V ( ＞2V摆幅,10%～90% )
　　　上冲/ 下冲 　　　　　≤5%摆幅或250mV
　　管脚电平比较器:
　　　比较器形式 　　　　　双限电平比较器
　　　输入电平范围 　　　　－2V～＋18V (程控衰减率 1：4)
　　　电压基准数量 　　　　1对(VOH和VOL为所有管脚公用)
　　　电压基准范围 　　　　－2V～＋5V
　　　电压基准程序分辨率 　0.5mV、2mV
　　　电压基准精度 　　　　±（0.1%设定值＋20mV）

4.直流测量子系统
(1).器件基准电源（RVS）

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±18.00V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)

(2).程控电源（DPS）
加压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±32.76V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)
最大输出电流: ±1A

测流:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流:

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

(3).精密直流测量单元(PMU)
加压测流(FVMI)
加压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±32.76V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)
最大输出电流: ±0.5A

测流:

量程	电流测量范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流:

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

加流测压(FIMV)
加流:

量程	电流测量范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%设定值+200nA＋4n/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V)
最大输出电压: ±32.76V

测压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±1.9999V	0.1mV	±(0.1%读数值＋4mV)
±8V	0～±7.9996V	0.4mV	±(0.1%读数值＋8mV)
±32V	0～±31.984V	1.6mV	±(0.1%读数值＋10mV)

限压:

量程	分辨率	精度
±2V	0.5mV	±(0.1%设定值＋5mV)
±8V	2mV	±(0.1%设定值＋20mV)
±32V	8mV	±(0.1%设定值＋80mV)