1.系统

系统类型 通用数字超大规模集成电路测试系统
系统主控计算机 Intel Pentium 系列PC机
操作系统 Win XP
测试编程软件 SP3168 for Win
功能测试速率 2KHZ～100MHZ，复用200MHZ
测试头 单头，高速测试台
管脚数 最多512个数字I/O管脚
系统定时精度 ±2nS

2.数字测试子系统

随机图形发生器:
图形速率 最大100MHZ
图形容量 1M×4位/每管脚(可扩充到4M×4位)

速率发生器:（每32个管脚一个）
主时钟频率 100MHZ
主钟稳定度 ≤±5×10-6
速率范围 10nS～0.5mS
速率分辨率 0.25nS

时钟发生器: （每32个管脚一个）
定时边沿范围 0nS～周期值
定时边沿分辨率 0.25nS
图形格式定时 10个（每32管脚）
选通定时 2个 （每32管脚）
算法图形发生器
每32个管脚一个、32位、可做地址、数据、及控制位

管脚格式器:
数据格式 8
I/O 格式 3
选通方式 2（边沿、窗口）

管脚驱动器:
驱动器形式 高速三态管脚电子驱动器
电压基准数量 每管脚一对（VIH/VIL 16位D/A）
输出电平范围 －2V～＋7V
电压基准程序分辨率 0.15mV
电压基准精度 ±( 0.1%设定值＋5mV )
最小脉宽 ＜5nS ( 3V时,50%点处 )
上升/ 下降时间 ≤1.5nS/V ( ≤2V摆幅,20%～80% )
≤1nS/V ( ＞2V摆幅,10%～90% )
上冲/ 下冲 ≤5%摆幅或250mV

管脚电平比较器:
比较器形式 双限电平比较器
输入电平范围 －2V～＋7V
电压基准数量 每管脚一对（VOH/VOL 16位D/A）
电压基准范围 －2V～＋7V
电压基准程序分辨率 0.15mV
电压基准精度 ±（0.1%设定值＋5mV）

3.直流测量子系统
(1)程控电源（DPS）
加压:
量程 输出电压范围 分辨率 精度
±2V 0～±2.047V 0.5mV ±(0.1%设定值＋2mV)
±20V 0～±20.047V 2mV ±(0.1%设定值＋4mV)
最大输出电流:4路同时使用时每路±500mA，单独使用1路时±1A

测流:
量程 电流测量范围 分辨率 精度
±2uA 0～±1.9999uA 0.1nA ±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA 0～±19.999uA 1nA ±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA 0～±199.99uA 10nA ±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA 0～±1.9999mA 100nA ±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA 0～±19.999mA 1uA ±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA 0～±199.99mA 10uA ±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A 0～±500 mA 100uA ±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)
限流:
量程 分辨率 精度
±2mA 0.5uA ±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA 5uA ±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA 50uA ±(0.1%设定值＋500uA)
±500mA 500uA ±(0.1%设定值＋5mA)

(2).精密直流测量单元1(PMU)

加压测流(FVMI)

加压:
量程 输出电压范围 分辨率 精度
±2V 0～±2.047V 0.061mV ±(0.1%设定值＋2mV)
±20V 0～±20.47V 0.61mV ±(0.1%设定值＋4mV)
最大输出电流: ±0.5A
测流:
量程 电流测量范围 分辨率 精度
±2uA 0～±1.9999uA 0.1nA ±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA 0～±19.999uA 1nA ±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA 0～±199.99uA 10nA ±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA 0～±1.9999mA 100nA ±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA 0～±19.999mA 1uA ±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA 0～±199.99mA 10uA ±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±1A 0～±500mA 100uA ±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流:
量程 分辨率 精度
±2mA 0.5uA ±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA 5uA ±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA 50uA ±(0.1%设定值＋500uA)
±500mA 500uA ±(0.1%设定值＋5mA)

加流测压(FIMV)

加流:
量程 电流测量范围 分辨率 精度
±2uA 0～±1.9999uA 0.1nA ±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V)
±20uA 0～±19.999uA 1nA ±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V)
±200uA 0～±199.99uA 10nA ±(0.1%设定值+200nA＋4n/V)
±2mA 0～±1.9999mA 100nA ±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V)
±20mA 0～±19.999mA 1uA ±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V)
±200mA 0～±199.99mA 10uA ±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V)
±1A 0～±500mA 100uA ±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V)
最大输出电压: ±20V

测压:
量程 输出电压范围 分辨率 精度
±2V 0～±2. 047V 0.061mV ±(0.1%读数值＋2mV)
±20V 0～±20. 47V 0.61 mV ±(0.1%读数值＋4mV)
限压:
量程 分辨率 精度
±2V 0.061mV ±(0.1%设定值＋2mV)
±20V 0.61mV ±(0.1%设定值＋4mV)

(3).精度直流测量单元2（只提供合格/失效测试）
加压:
量程 范围 分辨率 精度
4V －0.5～+3.5V 61uV 1%设定值±10mV
8V －1.0～+7.0V 122uV 1%设定值±10mV
16V －2.0～+12V 244uV 1%设定值±10mV

加流
量程 范围 分辨率 精度
2uA ±2uA 30pA 1%设定值±5nA
8uA ±8uA 122pA 1%设定值±5nA
32uA ±32uA 488pA 1%设定值±80nA
128uA ±128uA 1.95nA 1%设定值±80nA
512uA ±512uA 7.81nA 1%设定值±1.28uA
2mA ±2mA 30nA 1%设定值±1.28uA
8mA ±8mA 122nA 1%设定值±20uA
32mA ±23mA 488nA 1%设定值±20uA

测压
量程 范围 分辨率 精度
4V －0.5～+3.5V 61uV 1%读数值±10mV
8V －1.0～+7.0V 122uV 1%读数值±10mV
16V －2.0～+12V 244uV 1%读数值±10mV

测流
加流
量程 范围 分辨率 精度
2uA ±2uA 30pA 1%读数值±5nA
8uA ±8uA 122pA 1%读数值±5nA
32uA ±32uA 488pA 1%读数值±80nA
128uA ±128uA 1.95nA 1%读数值±80nA
512uA ±512uA 7.81nA 1%读数值±1.28uA
2mA ±2mA 30nA 1%读数值±1.28uA
8mA ±8mA 122nA 1%读数值±20uA
32mA ±23mA 488nA 1%读数值±20uA