1.系统
系统类型　　 　　　数/模混合型集成电路测试系统
系统主控计算机 　　Intel Pentium 系列PC机
操作系统 　　　　　Win 95/98
测试编程软件 　　　SP3160 for Win
功能测试速率 　　　2KHZ～20MHZ
测试头 　　　　　　单头，数/模混合型高压/高速测试台
数字通道数 　　　　24个数字I/O管脚可扩至40个I/O管脚
数字系统定时精度 　±2nS

2.数字测试子系统
随机图形发生器：
　　图形速率 　　　最大20MHZ
　　图形容量　　　 128K字×4位/每管脚
速率发生器：
　　主时钟频率 　　100MHZ
　　主钟稳定度 　　≤±5×10-6
　　速率范围 　　　50nS～0.5mS
　　速率分辨率　　 10nS
时钟发生器：
　　定时边沿范围 　0nS～周期值-20nS
　　定时边沿分辨率 1nS
　　定时边沿数 　　12个
　　定时边沿分配 　图形格式定时 7个
　　　　　　　　　  I/O 格式定时 2个
　　　　　　　　　  选通定时 1个
　　　　　　　　　 系统内部定时 2个
管脚格式器：
　　数据格式 　　　8
　　I/O 格式 　　　3
　　选通方式 　　　1

3.直流测量子系统
(1).器件基准电源（RVS）

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±18.00V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)

(2).程控电源（DPS）
加压：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±32.76V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)
最大输出电流： ±1A

测流：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流：

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

(3).高压程控电源(HVDPS)
加压：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±64V	0～±60.00V	16mV	±(0.1%设定值＋16mV)
最大输出电流： ±0.5A

测流：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±0.5000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流：

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

(4).精密直流测量单元(PMU)
加压测流(FVMI)
加压：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±32.76V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)
最大输出电流： ±0.5A

测流：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流：

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

加流测压(FIMV)
加流：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%设定值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V)
最大输出电压： ±32.76V

限压：

量程	分辨率	精度
±2V	0.5mV	±(0.1%设定值＋5mV)
±8V	2mV	±(0.1%设定值＋20mV)
±32V	8mV	±(0.1%设定值＋80mV)

加压：

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±8V	0～±8.190V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
±32V	0～±32.76V	8mV	±(0.1%设定值＋8mV)
最大输出电流： ±1A

限流：

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

4.辅助测量仪表
(1).数字多用表：技术指标详见《HP-34401数字多用表技术手册》

5.测试台
(1).数字IC测试模块：
管脚数： 24个数字I/O管脚可扩至40个I/O管脚
管脚驱动器：
　　驱动器形式 　　　　　高压/高速三态管脚电子驱动器
　　电压基准数量　　　　 1对 （VIH和VIL为所有管脚公用）
　　电压基准范围 　　　　－2V～＋18V，三量程
　　电压基准程序分辨率　 0.5mV、2mV、8mV
　　电压基准精度 　　　　±( 0.1%设定值＋20mV )
　　最小脉宽 　　　　　　＜15nS ( 3V时,50%点处 )
　　上升/ 下降时间 　　　≤2.5nS/V ( ≤2V摆幅,20%～80% )
　　　　　　　　　　　　  ≤2nS/V ( ＞2V摆幅,10%～90% )
　　上冲/ 下冲 　　　　　≤5%摆幅或250mV
管脚电平比较器：
　　比较器形式　　　　　　双限电平比较器
　　输入电平范围 　　　　  －2V～＋18V （程控衰减率 1：4）
　　电压基准数量 　　　　  1对(VOH和VOL为所有管脚公用)
　　电压基准范围 　　　　  －2V～＋5V
　　电压基准程序分辨率 　  0.5mV、2mV
　　电压基准精度　　　　　±(0.1%设定值＋20mV)

(2).线性及混合IC测试模块：
高精度数据采集单元:
直流电压测量（DCVM）

量程	分辨率	精度
±200mV	6.1uV	±(0.1%读数值＋2Mv
±2V	61uV	±(0.1%读数值＋4mV)
±20V	0.61mV	±(0.1%读数值＋10mV)
±100V	6.1mV	±(0.2%读数值＋20mV)

交流电压测量（ACVM）

量程	分辨率	精度
±100mV	3.05uV	±(0.5%读数值＋4mV)
±1V	30.5uV	±(0.1%读数值＋10mV)
±10V	0.305mV	±(0.1%读数值＋50mV)
±100V	3.05mV	±(0.2%读数值＋100mV)

隔离电压测量（ISOVM）

量程	分辨率	精度
±10mV	0.305uV	±(0.5%读数值＋0.5mV)
±100mV	3.05uV	±(0.5%读数值＋2mV)
±1V	30.5uV	±(0.1%读数值＋4mV)
±10V	0.305mV	±(0.1%读数值＋10mV)
±100V	3.05mV	±(0.5%读数值＋50mV)

高精度程控电压基准:

量程	分辨率	精度
±2.5V	38.15mV	±(0.005%设定值＋2mV)
±5V	76.30mV	±(0.005%设定值＋4mV)
±10V	152.59mV	±(0.005%设定值＋8mV)

辅助电压基准源(1～6):

量程	分辨率	精度
±2.5V	1.22mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±10V	4.88mV	±(0.1%设定值＋8mV)

时间测量单元:
　　测量范围 　　　　　200nS～32S
　　时间分辨率 　　　　50nS
　　参考电平幅度 　　　±10V
　　电平分辨率　　　　 80mV
　　测量速度 　　　　　高、中、低速三档
程控波形发生器:
　　输出信号选择 　　　正弦波、三角波、锯齿波、方波
　　输出频率范围 　　　25HZ～16KHZ（点频）
　　输出电平幅度 　　　±10V
　　电平分辨率　　　　 80mV