| 1.系统
系统类型 数/模混合型集成电路测试系统
系统主控计算机 Intel Pentium 系列PC机
操作系统 Win 95/98
测试编程软件 SP3160 for Win
功能测试速率 2KHZ～20MHZ
测试头 单头，数/模混合型高压/高速测试台
数字通道数 24个数字I/O管脚可扩至40个I/O管脚
数字系统定时精度 ±2nS
2.数字测试子系统
随机图形发生器： 图形速率 最大20MHZ
图形容量 128K字×4位/每管脚
速率发生器： 主时钟频率 100MHZ
主钟稳定度 ≤±5×10-6
速率范围 50nS～0.5mS
速率分辨率 10nS
时钟发生器： 定时边沿范围 0nS～周期值-20nS
定时边沿分辨率 1nS
定时边沿数 12个
定时边沿分配 图形格式定时 7个
I/O 格式定时 2个
选通定时 1个
系统内部定时 2个
管脚格式器： 数据格式 8
I/O 格式 3
选通方式 1
3.直流测量子系统
(1).器件基准电源（RVS
|
量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±2.047V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±8V |
0～±8.190V |
2mV |
±(0.1%设定值＋4mV) |
±32V |
0～±18.00V |
8mV |
±(0.1%设定值＋8mV) |
(2).程控电源（DPS）
加压
| 量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±2.047V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±8V |
0～±8.190V |
2mV |
±(0.1%设定值＋4mV) |
±32V |
0～±32.76V |
8mV |
±(0.1%设定值＋8mV) |
最大输出电流： ±1A
测流：
|
量 程 |
电流测量范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
|
±2uA |
0～±1.9999uA |
0.1nA |
±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V) |
|
±20uA |
0～±19.999uA |
1nA |
±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V) |
|
±200uA |
0～±199.99uA |
10nA |
±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V) |
|
±2mA |
0～±1.9999mA |
100nA |
±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V) |
|
±20mA |
0～±19.999mA |
1uA |
±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V) |
|
±200mA |
0～±199.99mA |
10uA |
±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V) |
|
±2A |
0～±1.0000A |
100uA |
±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V) |
限流：
|
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
|
±2mA |
0.5uA |
±(0.1%设定值＋5uA) |
|
±20mA |
5uA |
±(0.1%设定值＋50uA) |
|
±200mA |
50uA |
±(0.1%设定值＋500uA) |
|
±1A |
500uA |
±(0.1%设定值＋5mA) |
(3).高压程控电源(HVDPS)
加压：
| 量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±2.047V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±8V |
0～±8.190V |
2mV |
±(0.1%设定值＋4mV) |
±64V |
0～±60.00V |
16mV |
±(0.1%设定值＋16mV) |
最大输出电流： ±0.5A
测流：
| 量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2uA |
0～±1.9999uA |
0.1nA |
±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V) |
±20uA |
0～±19.999uA |
1nA |
±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V) |
±200uA |
0～±199.99uA |
10nA |
±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V) |
±2mA |
0～±1.9999mA |
100nA |
±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V) |
±20mA |
0～±19.999mA |
1uA |
±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V) |
±200mA |
0～±199.99mA |
10uA |
±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V) |
±2A |
0～±0.5000A |
100uA |
±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V) |
限流：
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2mA |
0.5uA |
±(0.1%设定值＋5uA) |
±20mA |
5uA |
±(0.1%设定值＋50uA) |
±200mA |
50uA |
±(0.1%设定值＋500uA) |
±1A |
500uA |
±(0.1%设定值＋5mA) |
(4).精密直流测量单元(PMU)
加压测流(FVMI)
加压：
量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±2.047V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±8V |
0～±8.190V |
2mV |
±(0.1%设定值＋4mV) |
±32V |
0～±32.76V |
8mV |
±(0.1%设定值＋8mV) |
最大输出电流： ±0.5A
测流：
|
量 程 |
电流测量范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
|
±2uA |
0～±1.9999uA |
0.1nA |
±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V) |
|
±20uA |
0～±19.999uA |
1nA |
±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V) |
|
±200uA |
0～±199.99uA |
10nA |
±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V) |
|
±2mA |
0～±1.9999mA |
100nA |
±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V) |
|
±20mA |
0～±19.999mA |
1uA |
±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V) |
|
±200mA |
0～±199.99mA |
10uA |
±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V) |
|
±2A |
0～±1.0000A |
100uA |
±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V) |
限流：
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2mA |
0.5uA |
±(0.1%设定值＋5uA) |
±20mA |
5uA |
±(0.1%设定值＋50uA) |
±200mA |
50uA |
±(0.1%设定值＋500uA) |
±1A |
500uA |
±(0.1%设定值＋5mA) |
加流测压(FIMV)
加流：
|
量 程 |
电流测量范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
|
±2uA |
0～±1.9999uA |
0.1nA |
±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V) |
|
±20uA |
0～±19.999uA |
1nA |
±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V) |
|
±200uA |
0～±199.99uA |
10nA |
±(0.1%设定值+200nA＋4nA/V) |
|
±2mA |
0～±1.9999mA |
100nA |
±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V) |
|
±20mA |
0～±19.999mA |
1uA |
±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V) |
|
±200mA |
0～±199.99mA |
10uA |
±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V) |
|
±2A |
0～±1.0000A |
100uA |
±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V) |
最大输出电压： ±32.76V
测压：
量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±1.9999V |
0.1mV |
±(0.1%读数值＋4mV) |
±8V |
0～±7.9996V |
0.4mV |
±(0.1%读数值＋8mV) |
±32V |
0～±31.984V |
1.6mV |
±(0.1%读数值＋10mV) |
限压：
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋5mV) |
±8V |
2mV |
±(0.1%设定值＋20mV) |
(5).电压/电流源(VI)
加流：
量 程 |
电流测量范围 |
分 辨 率 |
精度 |
±2uA |
0～±1.9999uA |
0.1nA |
±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V) |
±20uA |
0～±19.999uA |
1nA |
±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V) |
±200uA |
0～±199.99uA |
10nA |
±(0.1%设定值+200nA＋4nA/V) |
±2mA |
0～±1.9999mA |
100nA |
±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V) |
±20mA |
0～±19.999mA |
1uA |
±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V) |
±200mA |
0～±199.99mA |
10uA |
±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V) |
±2A |
0～±1.0000A |
100uA |
±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V) |
最大输出电压： ±32.76V
限压：
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋5mV) |
±8V |
2mV |
±(0.1%设定值＋20mV) |
±32V |
8mV |
±(0.1%设定值＋80mV) |
加压：
量 程 |
输出电压范围 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2V |
0～±2.047V |
0.5mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±8V |
0～±8.190V |
2mV |
±(0.1%设定值＋4mV) |
±32V |
0～±32.76V |
8mV |
±(0.1%设定值＋8mV) |
最大输出电流： ±1A
限流：
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2mA |
0.5uA |
±(0.1%设定值＋5uA) |
±20mA |
5uA |
±(0.1%设定值＋50uA) |
±200mA |
50uA |
±(0.1%设定值＋500uA) |
±1A |
500uA |
±(0.1%设定值＋5mA) |
4.辅助测量仪表
(1).数字多用表：技术指标详见《HP-34401数字多用表技术手册》
5.测试台
(1).数字IC测试模块：
管脚数： 24个数字I/O管脚可扩至40个I/O管脚
管脚驱动器：
驱动器形式 高压/高速三态管脚电子驱动器
电压基准数量 1对 （VIH和VIL为所有管脚公用）
电压基准范围 －2V～＋18V，三量程
电压基准程序分辨率 0.5mV、2mV、8mV
电压基准精度 ±( 0.1%设定值＋20mV )
最小脉宽 ＜15nS ( 3V时,50%点处 )
上升/ 下降时间 ≤2.5nS/V ( ≤2V摆幅,20%～80% )≤2nS/V (
＞2V摆幅 ,10%～90% )
上冲/ 下冲 ≤5%摆幅或250mV
管脚电平比较器：
比较器形式 双限电平比较器
输入电平范围 －2V～＋18V （程控衰减率 1：4）
电压基准数量 1对(VOH和VOL为所有管脚公用)
电压基准范围 －2V～＋5V
电压基准程序分辨率 0.5mV、2mV
电压基准精度 ±(0.1%设定值＋20mV)
(2).线性及混合IC测试模块：
高精度数据采集单元:
直流电压测量（DCVM）
|
量 程 |
分 辨 率 |
精 度 |
|
±200mV |
6.1uV |
±(0.1%读数值＋2Mv |
|
±2V |
61uV |
±(0.1%读数值＋4mV) |
|
±20V |
0.61mV |
±(0.1%读数值＋10mV) |
|
±100V |
6.1mV |
±(0.2%读数值＋20mV) |
交流电压测量（ACVM）
| 量
程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±100mV |
3.05uV |
±(0.5%读数值＋4mV) |
±1V |
30.5uV |
±(0.1%读数值＋10mV) |
±10V |
0.305mV |
±(0.1%读数值＋50mV) |
±100V |
3.05mV |
±(0.2%读数值＋100mV) |
隔离电压测量（ISOVM）
| 量
程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±10mV |
0.305uV |
±(0.5%读数值＋0.5mV) |
±100mV |
3.05uV |
±(0.5%读数值＋2mV) |
±1V |
30.5uV |
±(0.1%读数值＋4mV) |
±10V |
0.305mV |
±(0.1%读数值＋10mV) |
±100V |
3.05mV |
±(0.5%读数值＋50mV) |
高精度程控电压基准:
| 量
程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2.5V |
38.15mV |
±(0.005%设定值＋2mV) |
±5V |
76.30mV |
±(0.005%设定值＋4mV) |
±10V |
152.59mV |
±(0.005%设定值＋8mV) |
辅助电压基准源(1～6):
| 量
程 |
分 辨 率 |
精 度 |
±2.5V |
1.22mV |
±(0.1%设定值＋2mV) |
±10V |
4.88mV |
±(0.1%设定值＋8mV) |
时间测量单元:
测量范围 200nS～32S
时间分辨率 50nS
参考电平幅度 ±10V
电平分辨率 80mV
测量速度 高、中、低速三档
程控波形发生器:
输出信号选择 正弦波、三角波、锯齿波、方波
输出频率范围 25HZ～16KHZ（点频）
输出电平幅度 ±10V
电平分辨率 80mV
|
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