1. 系统
　　系统类型 　　数字集成电路测试系统
　　系统主控计算机　　 PC机
　　操作系统 　　Windows98
　　测试编程软件 　　SP-3166 for Win98
　　管脚数 　　最多 64个I/O管脚
　　系统定时精度 　　10nS
　　使用电压 　　交流220V，50Hz
　　操作温度 　　+20℃~+25℃
　　相对湿度 　　30%～60%
2. 器件电压源(DPS)

电压源	加压范围	分辨率	准确度
2路	±15	V 7.5 mV	±(2‰编程值+20mV)
量程	测量范围	分辨率	准确度
1	±250mA	122uA	±(2‰测量值+250uA)
2	±20mA	10uA	±(2‰测量值+20uA)
3	±2mA	1uA	±(2‰测量值+2uA)
4	±20uA	10nA	±(2‰测量值+80nA)

3. 精密测量单元(PMU)
　　(1) 加压测流

	加压范围	分辨率	准确度
	±15V	5mV	±(1‰编程值+20mV)
	±5V	1.5 mV	±(1‰编程值+20mV)
	±3V	0.8 mV	±(1‰编程值+20mV)
	±1V	0.3 mV	±(1‰编程值+20mV)
量程	测流范围	分辨率	准确度
1	±2 uA	1 nA	±(2‰测量值+80nA)
2	±25uA	12.2nA	±(2‰测量值+80nA)
3	±250uA	122nA	±(1‰测量值+600nA)
4	±2.5mA	1.22uA	±(1‰测量值+2.5uA)
5	±25mA	12.2uA	±(1‰测量值+25uA)
6	±250mA	122uA	±(1‰测量值+250uA)

(2) 加流测压

量程	加流范围	分辨率	准确度
1	±25uA	6.1nA	±(5‰编程值+80nA)
2	±250uA	61nA	±(1‰编程值+250nA)
3	±2.5mA	610nA	±(1‰编程值+2.5uA)
4	±25mA	6.1uA	±(1‰编程值+25uA)
5	±250mA	61uA	±(1‰编程值+250uA)
量程	测压范围	分辨率	准确度
1	±15V	10mV	±(1‰测量值+20mV)
2	±10V	5 mV	±(1‰测量值+20mV)
3	±5V	2.5 mV	±(1‰测量值+20mV)
4	±1V	0.5 mV	±(1‰测量值+20mV)

4. 定时板
　　时钟周期信号定时范围 ： 200ns~10ms
　　FTG前沿、宽度定时范围 ：20ns~10ms
　　选通脉冲CTG定时范围 ：20ns~10ms

5. 图形板
　　图形深度： 32K/512K
　　算法图形宽度：24 bit

6. 继电器驱动位：14位
7. 数字通道模块
　　驱动器
　　电压范围　　　　分辨率 准确度
　　0~15V　 7.5 mV 　 ±(2‰编程值+20mV)

　　比较器
　　电压范围　　　　分辨率 准确度
　　0~12V　 7.5 mV 　 ±(2‰编程值+20mV)