1.系统
　　  系统类型 　　　　通用数字超大规模集成电路测试系统
　　　系统主控计算机 　Intel Pentium 系列PC机
　　　操作系统 　　　　Win98
　　　测试编程软件　　 SP3168 for Win
　　　功能测试速率　　 2KHZ～40MHZ
　　　测试头 　　　　　单头，高速测试台
　　　管脚数　　　　　 最多512个数字I/O管脚
　　　系统定时精度 　　±1nS

2.数字测试子系统
　 随机图形发生器:
　　　　图形速率 　　　最大40MHZ
　　　　图形容量 　　　1M×4位/每管脚

　速率发生器:
　　　主时钟频率 　　　100MHZ
　　　主钟稳定度 　　　≤±5×10-6
　　　速率范围 　　　　25nS～0.5mS
　　　速率分辨率 　　　5nS

　时钟发生器:
　　　定时边沿范围 　　0nS～周期值
　　　定时边沿分辨率 　0.25nS
　　　定时边沿数 　　　32个
　　　定时边沿分配　　 图形格式定时 16个
　　　选通定时 　　　　8个

　管脚格式器:
　　　数据格式 　　　　8
　　　I/O 格式 　　　　3
　　　选通方式 　　　　1

3.数字测试台
　　管脚驱动器:
　　　　驱动器形式　　 　　　高速三态管脚电子驱动器
　　　　电压基准数量 　　　　每管脚一对（VIH/VIL 16位D/A）
　　　　输出电平范围 　　　　－2V～＋7V
　　　　电压基准程序分辨率 　0.15mV
　　　　电压基准精度 　　　　±( 0.1%设定值＋5mV )
　　　　最小脉宽 　　　　　　＜10nS ( 3V时,50%点处 )
　　　　上升/ 下降时间 　　　≤2.5nS/V ( ≤2V摆幅,20%～80% )
　　　　　　　　　　　　　　 ≤2nS/V ( ＞2V摆幅,10%～90% )
　　　   上冲/ 下冲 　　　　　≤5%摆幅或250mV
　　管脚电平比较器:
　　　　比较器形式 　　　　　双限电平比较器
　　　　输入电平范围 　　　　－2V～＋7V
　　　　电压基准数量 　　　　每管脚一对（VOH/VOL 16位D/A）
　　　　电压基准范围 　　　　－2V～＋7V
　　　　电压基准程序分辨率 　0.15Mv
　　　　电压基准精度 　　　　±（0.1%设定值＋5mV）

4.直流测量子系统
(1).器件基准电源（RVS）

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±20V	0～±20.047V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)

(2).程控电源（DPS）
加压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.5mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±20V	0～±20.047V	2mV	±(0.1%设定值＋4mV)
最大输出电流: ±1A

测流:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流:

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)

(3).精密直流测量单元(PMU)
加压测流(FVMI)

加压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.061mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±20V	0～±20.47V	0.61mV	±(0.1%设定值＋4mV)
最大输出电流: ±0.5A

测流:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%读数值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%读数值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%读数值+200nA＋4nA/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%读数值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%读数值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%读数值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%读数值+10mA＋4nA/V)

限流:

量程	分辨率	精度
±2mA	0.5uA	±(0.1%设定值＋5uA)
±20mA	5uA	±(0.1%设定值＋50uA)
±200mA	50uA	±(0.1%设定值＋500uA)
±1A	500uA	±(0.1%设定值＋5mA)
加流测压(FIMV)

加流:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2uA	0～±1.9999uA	0.1nA	±(0.5%设定值+15nA＋4nA/V)
±20uA	0～±19.999uA	1nA	±(0.3%设定值+50nA＋4nA/V)
±200uA	0～±199.99uA	10nA	±(0.1%设定值+200nA＋4n/V)
±2mA	0～±1.9999mA	100nA	±(0.1%设定值+2uA＋4nA/V)
±20mA	0～±19.999mA	1uA	±(0.1%设定值+20uA＋4nA/V)
±200mA	0～±199.99mA	10uA	±(0.2%设定值+200uA＋4nA/V)
±2A	0～±1.0000A	100uA	±(0.5%设定值+10mA＋4nA/V)
最大输出电压: ±20V

测压:

量程	输出电压范围	分辨率	精度
±2V	0～±2.047V	0.061mV	±(0.1%读数值＋2mV)
±20V	0～±20.47V	0.61 mV	±(0.1%读数值＋4mV)

限压:

量程	分辨率	精度
±2V	0.061mV	±(0.1%设定值＋2mV)
±20V	0.61mV	±(0.1%设定值＋4mV)